一种用于环形薄壁工件的双传感器测量系统以及测量方法.pdfVIP

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  • 2023-06-30 发布于四川
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一种用于环形薄壁工件的双传感器测量系统以及测量方法.pdf

本发明属于高精度测量技术领域,特指一种用于环形薄壁工件的双传感器测量系统以及测量方法。包括:XY定位平台,具有X方向移动的X向驱动平台以及Y方向移动的Y向驱动平台;旋转台,设置在XY定位平台上,用于Z向旋转;手调台,设置在旋转台上,且具有装夹环形薄壁工件的工件载具,用于微调环形薄壁工件的位置;Z向驱动平台,用于Z方向移动;两个传感器调节装置,安装在Z向驱动平台上;以及两个距离传感器,安装在传感器调节装置上,且距离传感器的光路相互对齐。本发明通过两个距离传感器测量环形薄壁工件的中心线与旋转台转轴轴

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113686252 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202111010369.7 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人 浙江大学 地址 31

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