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2023-06-30 发布于四川
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本发明提供一种具有隔膜结构且流路阻力较小的流体控制装置。根据本技术的一种流体控制装置包括第一空间、两个平板构件、驱动机构、第二空间、第一止回阀和第二止回阀。第一空间具有流入口和流出口。两个平板构件经由第一空间彼此面对，并且平板构件中的至少一者是具有弹性的弹性体。驱动构件使弹性体弯曲。第二空间邻接第一空间，经由流入口而与第一空间连通，并且具有吸入口。第一止回阀允许流体从吸入口经由流入口流入第一空间。第三空间邻接第一空间，经由流出口而与第一空间连通，并且具有排出口。第二止回阀允许流体从第一空间经由流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113710896 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202080029567.5 吉田健太郎　 (22)申请日 2020.05.1

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