压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置.pdfVIP

压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置.pdf

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本发明提供一种提高压电元件的特性的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。压电元件为，在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件，种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113696623 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110533201.8 (22)申请日 2021.05.17 (30)优先权数据 2020-0880

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