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本发明提供了一种自动调焦装置及其使用方法,其中自动调焦装置包括:机座,所述机座上设置有驱动机构,所述驱动机构连接有能够相对所述机座移动的传动机构,所述传动机构上连接有物镜;所述传动机构包括传动板,所述驱动机构包括抵接在所述传动板上的凸轮,所述凸轮在转动时能够带动所述传动机构移动,用以使所述物镜移动调焦。本发明中的自动调焦装置,通过设置凸轮形式的运动组件,降低了设备成本,提高了调焦精度,减小了空间尺寸;针对不同的调焦行程,只需要加工更换不同偏心距的偏心凸轮即可实现。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113687493 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202110992200.X
(22)申请日 2021.08.27
(71)申请人 北京半导体专用设备研究所(中国
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