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本发明具备：XY载台(1)，其载置加工对象物(9)而进行移动；激光照射装置(2)，其从光行进方向的上游向下游按顺序具备：激光头(16)；均匀光学系统(17)，其使激光的横截面内的能量分布均匀化；投影掩模(18)，其具有与加工对象物(9)的被激光照射部对应的形状的狭缝；以及缩小投影光学系统(19)，其使该投影掩模(18)的狭缝在被激光照射部成像；以及载台控制部(6)，其生成与XY载台(1)向X轴方向的移动同步的控制脉冲来控制激光头(16)的脉冲振荡。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113710409 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202080029126.5 (74)专利代理机构 北京市隆安律师事务所
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