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本发明公开了La‑Ti合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与金属钛置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Ti合金靶;其中La‑Ti合金靶中镧的重量百分比为20%~60%,金属钛的重量百分比为40%~80%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Ti合金靶中镧与钛总质量的5~50%。本发明制备得到的La‑Ti合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本;解决了传统熔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113684456 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202110982084.3 (51)Int.Cl .
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