一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置.pdf

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本发明公开了一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，包括装置主体、晶圆、夹具与连接件，所述连接件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有气缸活塞，所述气缸活塞底端设置有固定块，所述固定块底端外侧设置有伺服电机，所述伺服电机顶端设置有第二转动杆，所述第二转动杆处于固定块内壁外侧开设有限位槽，所述第二转动杆中部表面套设有第二轴承；通过设计了气缸、气缸活塞、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113714203 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110871942.7 (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司