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本公开内容描述了用于制造和使用远程等离子体源上的单匝线圈以减小线圈与等离子体之间的电容性耦合和/或用于制造和使用包括减小线圈与等离子体之间的电容性耦合的至少一个导电层的层压腔室壁的系统、方法和装置。在使用层压腔室壁的情况下，线圈可以是单匝或多匝线圈。可以使用添加工艺将(一个或多个)导电层熔合或接合到下层(例如，电介质层)以及将最终层(例如，电介质)熔合或接合到最外面的导电层。此外，公开了一种方法，其中在等离子体点火期间对层压体内的导电层进行偏置，并且然后在点火之后减小偏置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113728413 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202080031029.X (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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