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本发明提供了一种显影模块及显影方法，包括S1、旋转晶圆，驱动摆臂支架在第一移动范围内做往复运动，使显影液均匀喷洒到晶圆上后，再喷洒去离子水，完成对晶圆的冲洗，第一移动范围为使显影液的喷洒面的边界分别至少到达晶圆的中心和晶圆的边缘；S2、驱动摆臂支架在第一移动范围内做往复运动的同时匀速喷洒显影液，完成扫描式显影；S3、驱动摆臂支架在第二移动范围内做往复运动，利用二流体喷嘴对晶圆进行清洗后，再利用去离子水，完成对晶圆的冲洗，第二移动范围为使去离子水的喷洒面的边界至少分别到达晶圆的中心和边缘。通过喷洒
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113703291 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202110998100.8
(22)申请日 2021.08.27
(71)申请人 长春长光圆辰微电子技术有限公司
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