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自动化硅片高效清洗制绒设备及控制系统.pdfVIP

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  • 2023-07-01 发布于四川
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自动化硅片高效清洗制绒设备及控制系统.pdf

    本发明公开了自动化硅片高效清洗制绒设备及控制系统，关于硅片加工处理技术领域，自动化硅片高效清洗制绒设备包括花篮硅片组件转运装置和工作槽，所述花篮硅片组件转运装置下端面设置有花篮固定组件，所述花篮硅片组件转运装置上设置有花篮硅片组件表面检测装置，所述花篮硅片组件转运装置的一侧端面设置有第一液体密度传感器，所述花篮硅片组件转运装置的另一侧端面分别设置有光强检测仪和湿度传感器，控制系统，包括高效清洗制绒智能控制系统。本发明实现根据花篮硅片组件在槽体内的反应时间，达到花篮硅片组件反应合格后，转运装置将花

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116364613 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202310170177.5 (22)申请日 2023.02.27 (71)申请人 江苏龙恒新能源有限公司 地址 2

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