一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法.pdf

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本发明公开了一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法，包括托盘主体，托盘主体端面开设多个凹槽，且每个凹槽内分布有多个复合台阶，放置衬底后，衬底边缘与凹槽内壁之间自然形成空气桥结构。得益于空气桥结构的强化流体输运的作用，本技术方案生长的外延片的背面未见分解的现象，依靠第一台阶形成的空气桥和凹槽底部喷孔结构，进一步加强了反应流体在外延片背面的流通，配合较深的第二台阶高度，加大了背面流体流动空间，使得换热更加均匀、衬底的温度一致性更好。该托盘设计特别适用于同质外延，在其上生长的同质LED外延片的波长均匀性

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113699586 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110994579.8 (51)Int.Cl.