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本发明是一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，主要包括动力组件、升降组件、外壳组件、腔体组件构成；用于连接传输腔室与反应腔室的机构装置，或用于密封真空腔体。通过设计空间凸轮及轨道结构，输入为旋转动力源电机或转动气缸，实现了阀门的稳定上升及水平关闭，通过设计合理的升降路径及方式，规避了由振动产生污染颗粒的可能。实现阀门轴的升降及水平关闭，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过空间凸轮及轨道原理实现了动作周期内的顺滑运动。本发明具有结构简便、装配简单、维护方便等优势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116357802 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202210917372.5
(22)申请日 2022.08.01
(71)申请人 沈阳富创精密设备股份有限公司
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