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一种调控紫外光电探测器光响应性能的方法.pdfVIP

一种调控紫外光电探测器光响应性能的方法.pdf

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    本发明涉及一种调控紫外光电探测器光响应性能的方法，该方法利用光刻胶作为保护层通过氧等离子体处理工艺调控样片表面石墨烯条带的长宽比，条带状光刻胶保护层的长宽比为(50‑150)：1，可以大大提高探测器的光响应速度和响应度，制备工艺简单，同时在调控过程中没有引入多余的外加物理场就可以实现明显的性能提升，进一步增加了相关器件的应用价值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113707757 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110779389.4 (22)申请日 2021.07.09 (71)申请人 山东大学 地址 25

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