固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统.pdf

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本申请提供了一种固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统。所述固定装置包括：固定装置用于对电子显微镜的样品室的监测探头进行固定，其特征在于，固定装置包括：连接部，适于与样品室的外壁连接，且连接部的中部设置有观察窗，观察窗与连接部之间通过密封部真空密封；固定部，位于连接部的一侧，固定部用于将监测探头固定在与观察窗对应的位置，且固定部围绕监测探头设置，以阻挡样品室外的光线通过观察窗进入样品室。本申请通过设置连接部以及固定部，可以将监测探头固定在样品室外部，并且可以避免外界光线进入样品室内部，还可以使

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113707520 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110984165.7 H01J 37/28 (2006.01) (22)申请日 2021.08