一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法.pdf

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本发明涉及了一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法，制备方法包括：步骤A：采用沉积工艺，在蓝宝石基底表面进行镀膜、形成复合膜层；其中，复合膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层以及氮氧化硅膜层中的至少两种；蓝宝石基底与复合膜层构成镀膜基片；步骤B：在镀膜基片的表面涂布压印胶；步骤C：采用纳米压印工艺、通过蓝宝石衬底模板对压印胶进行压印，将其衬底图形结构转移至镀膜基片上、形成压印掩膜结构；步骤D：对带有压印掩膜结构的镀膜基片进行刻蚀、加工形成图形化蓝宝石复合衬底结构。通过上述设置，可解决目前图形化蓝宝石

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725325 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110873356.6 (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人苏州光舵微纳科技股份有限公司