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2023-07-01 发布于四川
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一种用于磷化铟晶体的制备装置.pdf

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本发明涉及一种用于磷化铟晶体的制备装置，包括：平台、以及设置在平台顶部的制备组件；所述制备组件包括上箱体与下箱体，所述上箱体与所述下箱体通过铰接件配合连接，所述上箱体与下箱体内部合围空间设置有制备筒，所述制备筒内部设置有制备腔，所述制备腔内侧沿周向设置有若干个加热管；所述制备筒一端设置有联轴器，所述联轴器贯穿所述制备组件，所述联轴器一端设置有转动机构，所述转动机构能够带动所述制备筒旋转；所述平台一侧设置有操作面板，所述操作面板上设置有显示屏，所述显示屏能够显示制备腔内的画面。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113699593 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110787959.4 (22)申请日 2021.07.13 (71)申请人苏州中砥半导体材料有限公司

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