测量方法以及检查装置.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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测量方法以及检查装置.pdf

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本发明既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。对彼此隔离的多个第一电极(51)与多个第二电极(52)之间的电极间阻抗进行测量的测量方法包含下述步骤：对多个电流检测部(4)中的一个电流检测部进行校准；使用经校准的电流检测部即第一电流检测部(4a)来测量基准样本(S)的第一基准阻抗(ZX1)；使用多个所述电流检测部(4)来并行地测量检查对象物(50)的多个部位的对象物阻抗(ZXM)；以及基于第一基准阻抗(ZX1)来修正对象物阻抗(ZXM)以算出修正后阻抗(ZDUT)。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113728240 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202080025449.7 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理