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用于浸没式光刻的图像传感器.pdfVIP

用于浸没式光刻的图像传感器.pdf

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    一种用于浸没式光刻的图像传感器(17)，该图像传感器包括：光栅(310、320和330)；在光栅上的吸收层(350)，该吸收层被配置为吸收辐射；以及在图像传感器的上表面处的疏液涂层(400)，其中保护层(500)被设置在吸收层与疏液层之间，该保护层对浸液的反应性低于吸收层对浸液的反应性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113728275 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202080029265.8 P ·布拉哈奇　T ·拉特耶　

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