锗锭的腐蚀方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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锗锭的腐蚀方法.pdf

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本公开提供一种锗锭的腐蚀方法，包括以下步骤：步骤一，去离子水将锗锭清洗干净，用氮气吹干；步骤二，配置体积比为2～3∶1的硝酸和氢氟酸的浓酸腐蚀液，配置体积比为硝酸∶氢氟酸∶水＝2～3∶1∶4～6稀酸腐蚀液；步骤三，将浓酸腐蚀液放置在腐蚀槽中，将盛有浓酸的腐蚀槽放置在通风橱的纯水槽中，水浴温度设定为18℃～25℃，盛有稀酸的腐蚀槽放置在通风橱上；步骤四，将锗锭升温；步骤五，将升温后的锗锭放入浓酸中腐蚀1min～3min，浓酸腐蚀后再快速将锗锭放入盛有稀酸的腐蚀槽中腐蚀1min～2min；步骤六，将

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113718257 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110980367.4 (22)申请日 2021.08.24 (71)申请人安徽光智科技有限公司