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本发明公开了一种沉积设备以及使用该沉积设备的沉积方法。沉积设备包括：防护构件，防护构件在平面图中具有栅格形状，并且包括沿第一方向延伸的短侧边以及沿第二方向延伸的长侧边，短侧边包括第一短侧边和第二短侧边；支架构件，包括联接至第一短侧边的第一支架构件以及联接至第二短侧边的第二支架构件；多个阳极条，沿第二方向延伸并被稳定地安置在第一支架构件和第二支架构件中的每一个上；以及靶构件，覆盖多个阳极条。多个阳极条中的阳极条向外突出超过第一支架构件和第二支架构件中的至少一个，并且阳极条通过支架构件与防护构件物理
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113737140 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110585236.6
(22)申请日 2021.05.27
(30)优先权数据
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