一种Fe-Ni-P合金电镀液、Fe-Ni-P合金镀层的电沉积方法及合金镀层.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种Fe-Ni-P合金电镀液、Fe-Ni-P合金镀层的电沉积方法及合金镀层.pdf

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本申请公开了一种Fe‑Ni‑P合金电镀液、Fe‑Ni‑P合金镀层的电沉积方法及合金镀层，属于电子制造技术领域。该电镀液包括主盐、络合剂以及水，络合剂包括双络合剂，双络合剂包括柠檬酸和氨三乙酸，或柠檬酸和氨三乙酸盐，或柠檬酸盐和氨三乙酸，或柠檬酸盐和氨三乙酸盐；双络合剂中，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度与柠檬酸或柠檬酸盐的浓度之比为0.5～5；其中，柠檬酸或柠檬酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L。本申请通过在电镀液中加入柠檬酸(盐)和氨三乙酸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113737233 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110698679.6 (22)申请日 2021.06.23 (71)申请人中国科学院深圳先进技术研究院