一种衬底输送机构.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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本发明提供了一种衬底输送机构,属于片体输送技术领域;作用在浸于液体且成列放置的衬底组上,衬底输送机构包括:基座组件;输送组件,所述输送组件包括:主动轮;从动轮,从动轮和主动轮构成一输送框架;输送带,所述输送带设置在所述输送框架上,并沿输送框架循环运动;且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域,三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区;捋水组件,所述捋水组件设置在基座组件上;其中,所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上,并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低;达到输送机构运

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113734800 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 202111051061.7 (51)Int.Cl.

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