一种硅片切割方法.pdfVIP

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本发明提供了一种硅片切割方法,该方法包括:在硅片切割过程中,全新的切割线设置于主辊机构,形成切割线网,全新的切割线占切割线网中所有切割线的比例不低于百分之五十,向切割线网进给待切割的硅棒,使硅棒与切割线网相向移动,通过主辊机构驱动切割线网中的切割线循环往复运行,将进入切割线网的硅棒切割为硅片。当切割线网中全新的切割线的占比不低于百分之五十时,切割线网具有较高的切割能力,可以降低往复运线的次数,从而可以降低整个切割过程中切割线损耗。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113733377 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110874472.X (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人 隆基绿能科技股份有限公司

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