感测装置及其制造方法.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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感测装置及其制造方法.pdf

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本发明公开一种感测装置及其制造方法。感测装置的制造方法包括以下步骤。提供基板。形成图案化半导体层于基板上。形成栅极绝缘层于基板上并覆盖图案化半导体层。形成栅极于栅极绝缘层上。形成层间介电层于基板上并覆盖栅极及栅极绝缘层，且层间介电层具有暴露出部分图案化半导体层的介电开口。形成第二导电材料层于层间介电层上。形成光感材料层于第二导电材料层上。通过光掩模以于基板上形成图案化光致抗蚀剂层。通过图案化光致抗蚀剂层移除部分的光感材料层以形成光感层，且移除部分的第二导电材料层以形成第一感测电极。形成第二感测电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113591687 A (43)申请公布日 2021.11.02 (21)申请号 202110861483.4 (22)申请日 2021.07.29 (30)优先权数据 110109694