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一种柔性等离子体源特性分析系统.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种柔性等离子体源特性分析系统.pdf

    本发明公开一种柔性等离子体源特性分析系统，包括柔性等离子体源放电子系统和放电参数采集检测子系统，柔性等离子体源放电子系统包括脉冲电源和柔性等离子体源，脉冲电源和柔性等离子体源电性连接，放电参数采集检测子系统包括电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部，电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部分别与柔性等离子体源放电子系统连接。本发明的柔性等离子体源特性分析系统能够准确高效的分析不同激励源下柔性CDBD的放电特性、光学特性、光谱特性以及温度特性，得到放电功率、传输电荷、能量利用效率、放

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113747645 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111054712.8 (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人 南京工业大学 地址

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