晶圆的对准方法、系统、计算机可读存储介质及处理器.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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晶圆的对准方法、系统、计算机可读存储介质及处理器.pdf

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本发明公开了一种晶圆的对准方法、系统、计算机可读存储介质及处理器。其中，该方法包括：获取晶圆与承载组件之间的位置偏移信息；据位置偏移信息，确定支撑组件的运动控制参数，其中，支撑组件用于在预设条件下将晶圆与承载组件分离；基于运动控制参数控制支撑组件移动，支撑组件带动晶圆移动，以使晶圆和承载组件对准。本发明解决了相关技术中晶圆位置发生偏移，导致Cu互连工艺稳定性差的技术问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725136 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111007845.X (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人长江存储科技有限责任公司