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本发明属于光催化领域，公开了一种氮掺杂的氢终端金刚石及其制备方法，包括以下步骤：在预处理的衬底上进行成核；然后通过微波等离子体化学气相沉积方法，在成核的衬底上生长氮掺杂的多晶金刚石层，并对氮掺杂的多晶金刚石层进行氢化处理，得到氮掺杂的氢终端金刚石。氮掺杂的氢终端金刚石包括氢终端多晶金刚石，氢终端多晶金刚石内掺杂氮原子，氮原子的掺杂浓度≥1017cm‑3，且掺杂的氮原子在氢终端多晶金刚石内形成氮空位色心缺陷；氢终端多晶金刚石的二维空穴气密度≥1010cm‑2。利用氮空位缺陷，实现可在光照条件下进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113731459 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110821200.3
(22)申请日 2021.07.20
(71)申请人 西安交通大学
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