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一种晶圆匀胶显影装置.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种晶圆匀胶显影装置.pdf

    本发明公开了一种晶圆匀胶显影装置，所述晶圆匀胶显影装置包括：固定板；晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；支架，所述支架设有至少一个安装开口；其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。本发明有效解决晶圆匀胶显影单元不便于更换和维修的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113721425 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110994779.3 (22)申请日 2021.08.27 (71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司

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