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本发明公开了一种蠕虫形氧化硅磨粒及其制备方法和应用；所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法分为三步，包括制备球形氧化硅种子、诱导球形氧化硅种子自组装制备蠕虫形氧化硅颗粒、活性硅酸进一步生长使蠕虫形颗粒表面更加致密，连接部分更加牢固。与传统球形氧化硅磨粒相比，本发明蠕虫形氧化硅磨粒具有高的尺寸纵横比、提供的摩擦系数更高，对手机氧化锆陶瓷盖板进行抛光，可有效地提高材料去除率，并降低氧化锆陶瓷盖板的表面粗糙度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113716568 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111008612.1
(22)申请日 2021.08.31
(71)申请人 昆山捷纳电子材料有限公司
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