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试验装置.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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试验装置.pdf

    试验装置(100)对形成有包含磁阻存储器或磁传感器在内的被试验器件(12)的被试验晶圆(10)进行试验。在台(130)上，在试验工序中载置被试验晶圆(10)。磁场施加装置(140)在试验工序中向被试验晶圆(10)施加磁场(BEX)。试验用探针卡(160)在试验工序中被使用。诊断用晶圆(170)形成有多个磁检测单元(172)，在试验装置(100)的诊断工序中，取代被试验晶圆(10)而载置于台(130)，通过各磁检测单元(172)能够测定磁场施加装置(140)产生的磁场(BEX)。诊断用探针卡(18

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113748350 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202080031184.1 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理

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