薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器.pdf

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本发明涉及一种薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器，其中，本发明的制作方法基于临时键合工艺，既适用于制作压电薄膜为单晶压电薄膜的体声波谐振器，又适用于制作压电薄膜为多晶压电薄膜的体声波谐振器，适用范围广，而且本申请的制作方法摒弃了牺牲层，消除了因制作牺牲层所带来的一系列的影响，既保证了薄膜体声波谐振器的性能和可靠性，又保证了制作薄膜体声波谐振器的成品率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111654258 A (43)申请公布日 2020.09.11 (21)申请号 20201