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掩模组件和相关联的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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掩模组件和相关联的方法.pdf

    一种方法，包括以下步骤：接收包括掩模和由表膜框架保持的可去除的EUV透明表膜的掩模组件，将表膜框架和EUV透明表膜从掩模上去除，使用检查工具检查掩模上的掩模图案以及随后将由表膜框架保持的EUV透明表膜附接至掩模。方法还可以包括以下步骤：在将表膜框架和EUV透明表膜从掩模上去除之后，将保持着备选表膜的备选表膜框架附接至掩模，备选表膜由对于检查工具的检查射束基本上透明的材料形成；以及在使用检查工具检查掩模上的掩模图案之后，将由备选表膜框架保持的备选表膜从掩模上去除，以便将由表膜框架保持的EUV透明表

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113721420 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111018980.4 J ·N ·威利　 (22)申请日 2016.02

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