电路版图的拆分验证方法、双重图形光刻方法、存储介质.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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电路版图的拆分验证方法、双重图形光刻方法、存储介质.pdf

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本发明公开了一种电路版图的拆分验证方法、双重图形光刻方法、存储介质，其中电路版图的拆分验证方法，包括：扫描解析电路版图得到电路版图中的所有图形并进行预处理；将预处理后的所有图形插入到网格中，得到包含所有图形的图形列表，以及存储网格地址以及网格内的图形的网格索引；对图形列表进行遍历，在遍历的过程中根据掩膜分配规则将未分配掩膜的图形分配至双层掩膜当中的对应的掩膜上，同时根据间距规则查找已分配掩膜的图形之间是否存在相同掩模间距违规的情况，若存在，则将间距违规的两个图形记录为一对冲突节点；查找每一对冲突

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115270695 A (43)申请公布日 2022.11.01 (21)申请号 202210944133.9 (22)申请日 2022.08.05 (71)申请人深圳国微福芯技术有限公司地址 5