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校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置.pdf

    本发明提供了一种校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置，校正方法包括，将工件台沿同一方向移动若干次，使得校正标记在基底上产生若干个曝光场的曝光图像；对于每一个曝光场，根据曝光图像的特征和聚焦参数，得到在每个曝光位置的子倾斜误差；根据子倾斜误差和曝光位置，得到倾斜误差与工件台在移动方向的位置之间的对应关系式；并据此校正工件台。本发明提供的一种校正工件台倾斜误差的方法，能够方便地得出工件台运动过程中的倾斜偏差，提高了工件台定位的准确性。而且能够在曝光位没有调焦调平传感器时使用，且通过对准测量得到标记的垂

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113741148 B (45)授权公告日 2022.06.03 (21)申请号 202010478112.3 (56)对比文件

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