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一种覆盖常压到高真空的压力控制系统.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种覆盖常压到高真空的压力控制系统.pdf

    本发明公开了一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，包括真空容器，所述真空容器设有真空规、质量流量计、真空阀门一与真空阀门二，所述真空阀门一连接粗抽管道，粗抽管道通过开度调节阀与粗抽泵连接，所述真空阀门二连接有高真空泵，所述粗抽泵可以同时作为高真空泵的前级泵。本发明中，控压范围为常压到1×10‑5Pa，可以稳定在任意压力下，因此便于工作人员进行操控，压力控制精度较高，能够有效的减小误差，利用粗抽泵使抽气速率可调，利用质量流量计进行补气调节，便于控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113741571 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111055751.X (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人 北京卫星环境工程研究所

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