原创力文档- 2
- 0
- 约1.07万字
- 约 13页
- 2023-07-03 发布于四川
- 举报
本申请涉及一种等离子体源及其启动方法，所述等离子体源包括：射频线圈及其对应的第一电离室，至少一个感应线圈及其对应的第二电离室，以及供气管路；其中，感应线圈串接在射频线圈前端，第一电离室与第二电离室串联连接；供气管路导入气体进入第一电离室，由射频线圈进行电离，未电离的气体进入第二电离室，由感应线圈进行二级电离后，输出等离子体；射频线圈产生磁场对进入第一电离室的气体进行电离，同时感应线圈通过感应射频线圈产生的磁场而产生电感，对进入第二电离室的气体进行电离；该技术方案，实现了多级射频电离效果，极大地提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113764252 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111081910.3
(22)申请日 2021.09.15
(71)申请人 中山市博顿光电科技有限公司
文档评论（0）