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本发明涉及微纳加工技术领域，具体涉及曲面光栅加工装置及其制备方法。曲面光栅加工装置包括平移台、PDMS夹具、透镜、透镜控制装置、圆柱筒、圆柱筒控制装置；PDMS夹具固定于平移台上方，用于夹持PDMS光栅模板；平移台用于移动PDMS光栅模板；透镜位于PDMS夹具下方；透镜控制装置用于移动透镜，透镜与PDMS光栅模板接触使其变形；圆柱筒位于PDMS夹具上方，用于装置PUA溶液以制备PUA曲面光栅；圆柱筒控制装置用于移动圆柱筒。本发明曲面光栅加工装置易于组装，成本低。本发明的曲面光栅的制备方法简单易操
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113759451 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202110919278.9
(22)申请日 2021.08.11
(71)申请人 广州先进技术研究所
地
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