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2023-07-03 发布于四川
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基板处理装置.pdf

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本发明提供一种基板处理装置，使功能部有效地发挥作用，并且防止功能部与基板的干涉。升降体(33)在输送基准面的上方配置于第一旋转轴与第二旋转轴之间，在第一辊以及第二辊的双方未搭上基板的上表面的期间，相对于输送基准面被维持在规定的下降位置，在第一辊以及第二辊的至少一方搭上基板的上表面的期间，利用搭上基板的上表面的辊的旋转轴被从下降位置向上方抬起该升降体并维持。升降方向限制单元将从下降位置升降时的升降体的升降方向限制为相对于输送基准面大致垂直的方向。功能部以在升降体下降到下降位置的状态下位于输送基准面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113764318 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202011446244.4 (22)申请日 2020.12.09 (30)优先权数据 2020-0976