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2023-07-03 发布于四川
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一种自由曲面样品全表面分析系统.pdf

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本发明公开了一种自由曲面样品全表面分析系统，适用于曲面样品全表面分析检测，包括工作台，工作台上部分别设有光学机构、光谱仪、激光器、计算机和电控箱；光学机构包括底部与工作台相连接的屏蔽罩，设于屏蔽罩内部下方、用于驱动样品进行旋转的样品旋转台，设于样品旋转台上方、与样品旋转台相对应、底部通过光学组件位移台与屏蔽罩相连接的光学组件，设于屏蔽罩背部、用于驱动光学组件旋转的光学组件旋转台，在本发明中，巧妙地设有样品旋转台、光学组件位移台和光学组件旋转台，通过样品旋转台、光学组件位移台和光学组件旋转台的配合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113758912 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202111030416.4 (22)申请日 2021.09.03 (71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究

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