静电卡盘部件的自动原地更换结构.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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静电卡盘部件的自动原地更换结构.pdf

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本发明涉及一种静电卡盘部件的自动原地更换结构，其中基板支撑件包括：基台；以及静电卡盘，静电卡盘的上部与下部可分离，下部保持在基台上，上部能够原地更换，其中：静电卡盘的上部包括顶部陶瓷板，顶部陶瓷板具有：第一电极，通过响应于施加到第一电极的第一电压而产生的第一静电引力，可控制地将晶片保持在顶部陶瓷板的上表面，以及金属层，设置在第一电极和静电卡盘的底部的上表面之间，并且静电卡盘的底部包括第二电极，第二电极通过响应于施加到第二电极与金属层之一的第二电压而产生的第二静电引力，可控制地将上部保持到下部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113764250 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110589644.9 (22)申请日 2021.05.28 (30)优先权数据 16/892,32