一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器.pdf

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本发明公开了一种偏振光敏感长波红外亚波长光栅MDM梯形结构吸收器，包括硫化锌基底，所述基底的底部镀制用铝膜，基底上部镀制由下至上依次为铝膜、硒化锌膜、铝膜、锗膜、铝膜的梯形光栅结构层；本发明采用光刻、刻蚀与镀膜相结合的加工工艺，仅通过改变微纳结构的占空比或周期，即可实现吸收峰中心波长的平移调控，并在多方位角下实现超广角窄带高吸收，在全面阵区域内，针对多组条带微纳结构的同一膜层，实现同时加工制备。克服了传统镀膜工艺中，因分时分区域多次镀膜所导致的镀膜次数的数量级增长，以及多条带异化镀膜相对平行度难

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113759450 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202111058218.9 第10卷(第2期),