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一种用于控制用于制造部件的生产过程的方法，其中所述部件或用于制造所述部件的制造装置具有至少一个能够以测量技术来检测的第一特征；所述方法包括至少如下步骤：a）设定用于检测第一特征的检查计划，其具有第一检查频率的第一值；其中针对该第一特征定义了至少一个第一稳定性标准；b）制造部件和并行执行检查计划，其中以第一检查频率检查所述第一特征；c）对检查结果进行评估；d）改变所述第一检查频率，其中在针对所述第一特征的至少一个检查结果违反了第一稳定性标准的情况下，提高所述第一检查频率；其中在所有检查结果都符合第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113767345 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202080021188.1 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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