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本发明提供载置台、基板处理装置以及基板处理方法。在包括载置基板的载置面的载置台中,使该载置面的平坦度提高。一种载置台,其用于载置基板,其中,该载置台具有:静电卡盘,其具有载置基板的载置面;支承构件,其支承所述静电卡盘;以及吸收构件,其配置于所述静电卡盘与所述支承构件之间,该吸收构件的外缘部借助紧固件与所述支承构件紧固,在所述静电卡盘与所述吸收构件之间形成有:连接区域,其位于所述静电卡盘的中央部,通过所述静电卡盘与所述吸收构件相互连接而成;以及分离区域,其位于比所述连接区域靠外缘侧的位置,通过所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113782411 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110590771.0
(22)申请日 2021.05.28
(30)优先权数据
2020-1010
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