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本发明公开了一种静电吸盘基座的修复方法，属于静电吸盘技术领域，所述修复方法包括以下步骤：根据静电吸盘基座的表面破损处，以表面破损处为基础将表面破损处加工成形状规则的凹槽；测量所述凹槽的尺寸，将所述尺寸记录备用；根据所述凹槽的尺寸，加工制造用于填补所述凹槽的填块，将所述填块加工到与所述凹槽配合的尺寸；将所述加工好的填块嵌入到所述凹槽中；在所述填块的上表面上喷涂陶瓷层；使用雾化胶喷涂所述陶瓷层，形成表面灰黑的亮色；对所述静电吸盘的各个参数进行检测，判断修复后的静电吸盘是否符合要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113782479 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110849574.6
(22)申请日 2021.07.27
(71)申请人 君原电子科技（海宁）有限公司
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