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本发明涉及基板处理装置和基板处理方法。提供如下技术:将基板用拒水剂拒水化,抑制基板的凹凸图案的倒塌、另外抑制拒水剂所导致的颗粒的发生。基板处理方法包括下述(A)~(E)。(A)将附着有处理液的基板搬入至处理容器的内部。(B)对前述搬入后的前述基板供给第1有机溶剂,将附着于前述基板的前述处理液去除。(C)对去除了前述处理液的前述基板供给拒水剂,将前述基板拒水化。(D)对前述拒水化了的前述基板供给第2有机溶剂。(E)使附着于前述基板的前述第2有机溶剂挥发,将前述基板干燥。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113782467 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202110597845.3
(22)申请日 2021.05.31
(30)优先权数据
2020-1009
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