载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法.pdf

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本发明涉及载带芯片脏污识别清理技术领域，具体涉及一种载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法。该载带芯片脏污识别清洗设备包括放料系统及收料系统，放料系统与收料系统之间设置清理通道，清理通道上方设置有清洁系统，清洁系统靠近放料系统的一侧设置有检测系统；清洁系统包括等离子表面处理机，等离子表面处理机连接有朝向清理通道设置的等离子枪头；放料系统、收料系统、清洁系统及检测系统均连接控制系统。提供一种对载带芯片表面进行清洗，提高产品合格率的载带芯片脏污识别清洗设备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113770124 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202111322950.2 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日