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本发明提供一种能够抑制图案倒塌的基板图案填充组合物及使用其的方法。一种基板图案填充组合物,包括(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂。还提供了使用其的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113785041 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202080029342.X (74)专利代理机构 北京三幸商标专利事务所
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