金属凸点及其制造方法和使用方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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金属凸点及其制造方法和使用方法.pdf

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本发明提供一种金属凸点及其制造方法和使用方法，其中制造方法包括：在第一衬底表面制造第一金属薄膜并图形化，形成第一金属层；在第一金属层表面制造第二金属薄膜并图形化，形成第二金属层，第一金属层与第二金属层形成层叠的金属凸点；加热层叠的金属凸点，使第一金属层表面向熔化后的第二金属层内扩散，进入熔化后的第二金属层内的第一金属形成不规则结构；采用流动的气体吹扫加热后的层叠的金属凸点，使熔化后的第二金属层挥发，制成由第一金属层构成的金属凸点，其中，第一金属层全部厚度为基于不规则结构的多孔状结构，或第一金属层

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113793808 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202110893092.0 (22)申请日 2021.08.04 (71)申请人清华大学地址 10