一种浸润性梯度表面的加工方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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一种浸润性梯度表面的加工方法.pdf

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一种浸润性梯度表面的加工方法，包括如下步骤：(1)设计和绘制版图：绘制示意图，版图结构布局具有斐波那契螺旋阵列结构；设计版图参数,硅片区域内版图中微圆柱圆心与圆域圆心距离变化；绘制版图，实现圆域内从中心向外由疏到密的结构；(2)版图加工，完成微结构设计之后，先用intellisense进行刻蚀的三维仿真，再使用光刻机加工出硅片，加工多片微圆柱高度不同的硅片进行对比；(3)对加工完成图浸润性梯度微结构进行实验测试：对硅片进行加热到莱顿弗罗斯特点的温度，通过注射器向微结构表面滴入液滴，通过观察液滴具

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113772621 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202110856581.9 (22)申请日 2021.07.28 (71)申请人浙江工业大学地址