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加工系统具有：壳体(6)，其在内部收纳物体(W)，该壳体(6)形成有能够供光通过的部分(62)；照射装置(211)，其照射对物体进行加工的加工光束(PL)；第1部件(651)，经由所述部分而朝向壳体的外部的来自照射装置的能量光束(EL)入射到该第1部件(651)；以及第2部件(652)，通过了第1部件的能量光束入射到该第2部件(652)，第1部件降低入射到第1部件的能量光束的强度，第2部件降低从第1部件入射到第2部件的能量光束的强度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113795352 A
(43)申请公布日 2021.12.14
(21)申请号 201980096037.X (51)Int.Cl.
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